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西山宏昭 研究室


実験装置


  • [西山グループ内]
  • Er系フェムト秒ファイバーレーザシステム (波長1560 nm & 780 nm)
  • Yb系フェムト秒レーザシステム (波長1030 nm & 515 nm)
  • 紫外レーザマイクロ描画システム
  • RFマグネトロンスパッタ装置(金属や酸化物の薄膜堆積)
  • ECRプラズマエッチング装置 (酸化物やSi基板のエッチング)
  • リソグラフィ関連機器全般(クリーンブース,スピンコータ,ホットプレート,自作マスクアライナーなど)
  • 紫外可視分光光度計(透過,反射)
  • フーリエ変換赤外分光計(透過,反射)
  • JEOL走査型電子顕微鏡(+金属コータ)
  • 蛍光顕微鏡
  • 倒立位相差顕微鏡
  • プラズモン特性評価光学系(角度分散,波長分散など)
  • 熱/光ナノインプリントセットアップ
  • 電気炉,加振器,シミュレータ,工作機器 など
  • (この他,別途整備を進めているとある装置群もあります)
  • [学内共通機器]
  • 電子ビーム描画装置 (Elionix 50 kV)
  • レーザ顕微鏡
  • UVレーザ描画装置 (Heidelberg Instruments Mikrotechnik)
  • ECRプラズマエッチング装置 (Elionix)
  • イオンポリッシャーAFM, FE-SEM, FIB, TEM...

連絡先

山形大学大学院理工学研究科
機械システム工学専攻
西山宏昭 研究室
nishiyama[at]yz.yamagata-u.ac.jp
〒992-8510
山形県米沢市城南4-3-16
工学部7号館219室

TEL 0238-26-3210