西山宏昭 研究室
実験装置
- [西山グループ内]
- Er系フェムト秒ファイバーレーザシステム (波長1560 nm & 780 nm)
- Yb系フェムト秒レーザシステム (波長1030 nm & 515 nm)
- 紫外レーザマイクロ描画システム
- RFマグネトロンスパッタ装置（金属や酸化物の薄膜堆積）
- ECRプラズマエッチング装置 （酸化物やSi基板のエッチング）
- リソグラフィ関連機器全般（クリーンブース，スピンコータ，ホットプレート，自作マスクアライナーなど)
- 紫外可視分光光度計（透過，反射）
- フーリエ変換赤外分光計（透過，反射）
- JEOL走査型電子顕微鏡（＋金属コータ）
- 蛍光顕微鏡
- 倒立位相差顕微鏡
- プラズモン特性評価光学系（角度分散，波長分散など）
- 熱/光ナノインプリントセットアップ
- 電気炉，加振器，シミュレータ，工作機器 など
- （この他，別途整備を進めているとある装置群もあります）
- [学内共通機器]
- 電子ビーム描画装置 (Elionix 50 kV)
- レーザ顕微鏡
- UVレーザ描画装置 (Heidelberg Instruments Mikrotechnik)
- ECRプラズマエッチング装置 (Elionix)
- イオンポリッシャー，AFM, FE-SEM, FIB, TEM...
連絡先
山形大学大学院理工学研究科
機械システム工学専攻
西山宏昭 研究室
nishiyama[at]yz.yamagata-u.ac.jp
〒992-8510
山形県米沢市城南4-3-16
工学部7号館219室
TEL 0238-26-3210